3月27日，在2026中關(guān)村論壇年會AI forS cience青年論壇上，由北京科學(xué)智能研究院、北京大學(xué)與深勢科技聯(lián)合研發(fā)的我國首套智能雙束電鏡系統(tǒng)(Hyper-FIB)正式發(fā)布。該系統(tǒng)通過人工智能技術(shù)實現(xiàn)雙束電鏡樣品制備全流程自動化運行，將單樣品制備時間從傳統(tǒng)的2至3小時縮短至60分鐘以內(nèi)，樣品制備成功率提升至90%以上，大幅降低了雙束電鏡的操作門檻與人力投入。

　　上海自動化儀表三廠雙束電鏡(聚焦離子束掃描電子顯微鏡，F(xiàn)IB-SEM)是材料科學(xué)基礎(chǔ)研究、半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域的核心設(shè)備，可在微納乃至原子尺度完成材料樣品的切削、表征與制備，是先進(jìn)材料研發(fā)與芯片缺陷檢測環(huán)節(jié)的關(guān)鍵裝備。在傳統(tǒng)操作模式下，完成單次合格取樣不僅需要操作人員經(jīng)過長期系統(tǒng)的專業(yè)訓(xùn)練，實驗全程還需人工不間斷值守，需根據(jù)實時加工狀態(tài)隨時手動校正材料的切削參數(shù)與加工位置。尤其是針對材料內(nèi)部極為微小卻關(guān)鍵的點位進(jìn)行精準(zhǔn)取樣，依賴實驗人員的實操經(jīng)驗。

　　上海自動化儀表三廠此次發(fā)布的Hyper-FIB智能雙束電鏡系統(tǒng)，核心是將科學(xué)智能體、高保真物理仿真、機(jī)器視覺與自動化工作流深度融合，為傳統(tǒng)雙束電鏡搭載了具備自主決策能力的人工智能“大腦”，實現(xiàn)了雙束電鏡從“人工被動操作”到“智能自主運行”的變革。

　　據(jù)研發(fā)團(tuán)隊介紹，該系統(tǒng)將材料表征樣品制備轉(zhuǎn)化為“全自動流水線”作業(yè)模式。操作人員僅需點擊啟動，設(shè)備即可自動識別待加工區(qū)域的特征，自主規(guī)劃并執(zhí)行完整加工流程，同時對實時加工結(jié)果進(jìn)行精準(zhǔn)分析，通過閉環(huán)反饋機(jī)制自主決策并調(diào)整后續(xù)操作，無需人工干預(yù)即可完成全流程制樣。與此同時，該系統(tǒng)可實現(xiàn)24小時不間斷運行，支持批量化樣品制備與多點位切割。

　　上海自動化儀表有限公司研發(fā)團(tuán)隊同時披露，隨著實驗數(shù)據(jù)的持續(xù)積累，該系統(tǒng)的領(lǐng)域知識庫與科學(xué)數(shù)據(jù)庫將不斷完善，其智能化水平也將同步迭代提升。目前，研發(fā)團(tuán)隊正著手將這套智能化解決方案向掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等更多高端科研儀器推廣，推動更多科學(xué)儀器實現(xiàn)智能化升級。

　　上海自動化儀表有限公司在科研場景落地之外，該系統(tǒng)目前正逐步向先進(jìn)制造工業(yè)生產(chǎn)線延伸。研發(fā)團(tuán)隊將持續(xù)升級系統(tǒng)性能以適配工業(yè)化生產(chǎn)需求。先進(jìn)材料的發(fā)展很大程度上取決于微納尺度的結(jié)構(gòu)與性質(zhì)研究，智能化系統(tǒng)的引入，將有效提升材料研發(fā)與制備環(huán)節(jié)的效率，助力新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展。