上海自動化儀表三廠國家標(biāo)準(zhǔn)計劃《表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜分析方法通則》目前正在面向社會公開征求意見。該標(biāo)準(zhǔn)由全國表面化學(xué)分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(TC608)歸口，主管部門為中國科學(xué)院。

　　上海自動化儀表三廠俄歇電子能譜是表面分析領(lǐng)域的重要技術(shù)，廣泛應(yīng)用于材料、化工、電子等行業(yè)的表面元素及化學(xué)態(tài)分析?，F(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26533-2011《俄歇電子能譜分析方法通則》自發(fā)布實(shí)施以來，作為該領(lǐng)域的綱要性標(biāo)準(zhǔn)，對規(guī)范分析測試方法、提升數(shù)據(jù)質(zhì)量發(fā)揮了重要作用。2024年12月20日，經(jīng)全國表面化學(xué)分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會復(fù)審，認(rèn)為該標(biāo)準(zhǔn)需結(jié)合當(dāng)前技術(shù)發(fā)展與國際標(biāo)準(zhǔn)更新情況進(jìn)行修訂，以保持其科學(xué)性、先進(jìn)性和適用性。

　　本標(biāo)準(zhǔn)牽頭起草單位為清華大學(xué)。清華大學(xué)長期從事俄歇電子能譜分析方法及科研工作，尤其在利用俄歇線形研究納米薄膜材料異質(zhì)界面化學(xué)狀態(tài)方面取得突出成果。依托清華大學(xué)分析中心和清華大學(xué)國家大型科學(xué)儀器中心-北京電子能譜中心，該校曾代表中國于2006年參與ISO/TC201組織的國際比對實(shí)驗(yàn)并取得優(yōu)異成績。

　　本文件將代替GB/T 26533—2011《俄歇電子能譜分析方法通則》。與2011版相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)內(nèi)容有多項(xiàng)更新。為與現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)，標(biāo)準(zhǔn)名稱改為《表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜分析方法通則》。規(guī)范性引用文件已更新，與現(xiàn)行有效的國家標(biāo)準(zhǔn)保持一致。術(shù)語和定義一章改為直接引用GB/T 22461.1，僅保留必要的補(bǔ)充術(shù)語，同時增加了符合與縮略語。在儀器校準(zhǔn)方面，增加了對能量標(biāo)校準(zhǔn)和強(qiáng)度表標(biāo)校準(zhǔn)的指導(dǎo)，并區(qū)分了中等分辨和高分辨譜儀的不同要求。定量分析方法得到細(xì)化，引入了平均基體相對靈敏度因子的概念。深度剖析的操作流程更加完善，增加了離子束對準(zhǔn)和濺射速率測定的要求。此外，針對絕緣樣品分析，補(bǔ)充了荷電控制與校正的相關(guān)要求。

　　本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用聚焦電子束作為激發(fā)源的俄歇電子能譜儀一般表面分析方法的要求，適用于俄歇電子能譜儀。標(biāo)準(zhǔn)旨在為表征結(jié)果的可靠性提供保障，不產(chǎn)生直接經(jīng)濟(jì)效益。修訂過程中所涉及的實(shí)驗(yàn)均為固體樣品，不涉及?；肥褂?，對生態(tài)環(huán)境無影響。

　　據(jù)起草單位介紹，本標(biāo)準(zhǔn)在修訂過程中充分參考了ISO、ASTM等國際新相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合國內(nèi)實(shí)際情況進(jìn)行轉(zhuǎn)化與采納。通過參與ISO/TC201組織的國際比對實(shí)驗(yàn)，起草單位驗(yàn)證了本標(biāo)準(zhǔn)所涉及方法與國際標(biāo)準(zhǔn)的一致性及先進(jìn)性。本標(biāo)準(zhǔn)合規(guī)引用了國際標(biāo)準(zhǔn)化組織正式頒布并已采標(biāo)轉(zhuǎn)化的相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)，力求與國際標(biāo)準(zhǔn)接軌。同時，本標(biāo)準(zhǔn)不涉及國內(nèi)外專利，與國家現(xiàn)行有關(guān)法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)無抵觸，上海自動化儀表有限公司技術(shù)內(nèi)容無重大分歧和偏離。

　　上海自動化儀表有限公司標(biāo)準(zhǔn)建議作為國家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實(shí)施，實(shí)施日期為發(fā)布之日起3個月后。該標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布并實(shí)施之日起，建議同步廢止原GB/T 26533-2011《俄歇電子能譜分析方法通則》。